羅茨真空泵是泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細(xì)小間隙而互不接觸。轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動(dòng)功率,實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速,同時(shí)可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。
羅茨真空泵的特點(diǎn)是:啟動(dòng)快,耗功少,運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低,抽速大、效率高,在100-1帕壓力范圍內(nèi)有較大抽氣速率,能迅速排除突然放出的氣體,轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30~10000升/秒。這個(gè)壓力范圍恰好處于油封式機(jī)械真空泵與擴(kuò)散泵之間。因此,它常被串聯(lián)在擴(kuò)散泵與油封式機(jī)械真空泵之間,用來提高中間壓力范圍的抽氣量,即我們常說的機(jī)械增壓泵。
羅茨真空泵不可以單獨(dú)抽氣,前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。也就是說,在實(shí)際應(yīng)用中,羅茨真空泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。很多客戶使用被串聯(lián)的羅茨真空泵在前級泵剛啟動(dòng)抽大氣時(shí)設(shè)置不啟動(dòng)羅茨,此時(shí)啟用羅茨效用不明顯,沒有突顯羅茨真空泵的優(yōu)勢。故一般電控上設(shè)置羅茨真空泵在大氣壓下不啟動(dòng),當(dāng)前級泵抽氣到一定限度的真空時(shí),羅茨自動(dòng)啟動(dòng)。羅茨真空泵作為助力泵的優(yōu)勢會凸顯出來,抽速上給予前級泵有力的支持。